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扫描式薄膜厚度测量系统
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X 射线具有穿透性，发射端发出射线穿透被测薄膜产生衰减，接收端接收衰减后的射线能量，对于同一材料其衰减系数是恒定不变的，接收端射线能量随厚度增加而减小，基于这一原理可以精确计算出当前薄膜厚度，适用测量各种透明膜，阻隔膜，非透明彩色膜。
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工作原理
X 射线具有穿透性，发射端发出射线穿透被测薄膜产生衰减，接收端接收衰减后的射线能量，对于同一材料其衰减系数是恒定不变的，接收端射线能量随厚度增加而减小，基于这一原理可以精确计算出当前薄膜厚度，适用测量各种透明膜，阻隔膜，非透明彩色膜。
测量探头固定在高精度 O 型扫描架上，通过伺服控制系统同步扫描，系统软件通过引入设备扫描速度、旋转速度、牵引速度、工作温度等变量测量计算出模具各点的厚度分布曲线与厚度参数。
具有在线校准、数据保存、数据查询、数据传输等功能。系统使用小于 5KV 的 X 射线能量，安全环保，为国际认可的环保辐射豁免许可产品。
名称 / NAME 范围 / RANGE 测量范围
Measurement range10-200um 测量精度
Measurement accuracy0.1um 测量幅宽
Measurement width700mm-4000mm 控制精度
Control accuracy2Sigma<4% 供电电源
Control supply380VAC 功率
Power supply1.5KW 气源
Gas source0.6MP/0.2SLM 响应时间
Response time20ms 外形尺寸
Dimension3100*600*1150
(2000 roll surface)重量
WeightAbout 400KG
(2000 roll surface)优点
- 适用各种透明膜，阻隔膜，非透明彩色膜。
- 5KeV 低能量高精度穿透式 X 线探头，安全环保、符合国家辐射源豁免管制标准。
- 准确检测 10---200umPE 或 PA 膜的厚度，测量精度 1‰或 0.1um。
- 非接触连续测量，快速响应（1-20ms）无测量延时。
- 测量范围全覆盖，全尺寸高精度扫描架：700mm---4000mm。
- O 型扫描架采用 CNC 精密加工，确保了测量的精度和稳定性。
- 探头内包含所有的电气元件，整个穿透式探头包含上下两个探头，安装在扫描架上。
- 上探头包含 X 射线检测器、自主知识产权的信号处理卡和通讯卡。
- 下探头包含 X 射线发射管、高压发生器、自主知识产权的信号处理卡和通讯卡。
- 探头采用纯净压缩空气冷却，保持探头及周边环境温度小于 60℃，提高测量精度，延长使用寿命。
- 高精度伺服闭环定位控制系统，算法软件 20S 扫描周期内准确测量多达 1000 点膜厚分布曲线。
- 一体式安装，保养维护简单，具有远程诊断调试等功能。
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